产品
技术规格
- 温度:-70~260℃
- 绝缘厚度:0.5~0.75mm
- 电压大小:5KV(直流)
- 阻燃等级:VW-0
- 芯数:单芯
- 导体材料:不锈钢丝绳
- 绝缘材料:PEEK
应用领域
- 半导体
- 晶圆卡匣系统
- 卡匣支撑线缆
- 信号传输组件
- 高洁净自动化设备
- 洁净室机械支撑件
- 洁净运动支撑件
- 洁净拉伸支撑件
产品详情
PEEK 卡匣支撑线 - 技术文档
概述
PEEK支撑线集成于卡匣内部，在 TFT-LCD 各项工艺制作中，起到承载、传送和保护玻璃基板的作用。
技术规格
| 参数 | 数值 | 单位 | 标准 |
|---|---|---|---|
| 密度 | 1.32 | g/cm³ | ISO 1183 |
| 缺口冲击强度 | ≥5kJ | /m² | ISO 180/1A |
| 抗拉强度 | ≥101 | MPa | ISO 527 |
| 热膨胀系数 | 40～50 x 10⁻⁶ /K (23～100°C) | - | ISO 11359-2 |
| 熔点 (Tm) | ≥ 343 | °C | ISO 11357-3 (DSC) |
| 弯曲模量 | 3.8 | GPa | ISO 178 |
| 表面电阻率 | 10⁶~10⁹ Ω/sq | - | ANSI/ESD STM11.11/11.12 |
| 释气性 (TML/CVCM) | 符合或优于 SEMI E49, NASA ASTM E595 | - | ASTM E595 |
材料组成
| 组件 | 材料 | 百分比 | 用途 |
|---|---|---|---|
| 主材 | 不锈钢丝绳 | 85% | 主导体核心 |
| 护套层 | PEEK | 8% | 提供绝缘、耐高温、耐化学性及洁净室低析出需求 |
| 功能添加剂（可选） | 碳纤维 / 玻纤 | 2~5% | 提升刚性 |
性能特点
- 高耐磨与自润滑性能。
- 高纯度与低释气性。
- 耐高温性。
- 耐化学性。
- 尺寸稳定性。
- 耐腐蚀抗老化。
- 可控热膨胀、防静电性能
化学耐受性
| 化学品 | 耐受级别 | 备注 |
|---|---|---|
| 酸类 | 良好 | 已测试稀 H2SO4、HCl、HNO3 |
| 碱类 | 良好 | 已测试稀 KOH、NH4OH |
| 有机溶剂 | 良好 | 不易溶胀或降解 |
| 油类 | 优秀 | 不易溶胀或降解 |
| 燃料 | 优秀 | 不易溶胀或降解 |
温度耐受性
| 温度 (°C) | 机械性能变化 | 适用性 |
|---|---|---|
| ≤260 | 保持 ≈95% 强度 | 高温长期工作稳定 |
| 300 | 降至 ≈80% 强度 | 仅限短期使用 |
| ≥350 | 性能显著下降 | 非建议使用环境 |
应用领域
- 半导体晶圆卡匣系统：作为支撑线缆定位晶圆或信号传输组件。
- 高洁净自动化设备：洁净室环境中机械运动、拉伸与支撑应用。
使用指南
- 操作： 始终佩戴洁净室手套。避免接触皮肤油脂或污染物。尽可能手持端部。
- 安装：在安装 PEEK 支撑线时，需注意避免过度用力拉扯或扭曲，防止损坏支撑线，应按照卡匣的设计要求，准确地将支撑线安装在相应位置，确保安装牢固。
维护
在正常运行条件下，检查内容包括：
- 检查：定期检查支撑线的磨损情况、表面完整性以及连接部位的牢固性，如发现有磨损严重、断裂或松动等情况，应及时更换支撑线，以保证设备的正常运行。
- 温度：切勿超过指定 PEEK 等级的连续使用温度。尽可能避免快速热循环。
- 清洁：在使用前后，建议使用干净的无尘布或专用清洁剂对支撑线进行清洁，去除表面可能附着的灰尘、杂质等，但要避免使用对 PEEK 材料有腐蚀性的清洁剂。
认证
| 认证 | 标准 | 地区 |
|---|---|---|
| RoHS | RoHS 2011/65/EU | 欧洲 |
| ANSI-ESD | S20.20 | 美国 |
| FDA | 21 CFR 177.2415 | 美国 |
| ISO | ISO 9001:2015 | 全球 |